近日,36氪获悉,深圳市克洛诺斯科技有限公司(以下简称“克洛诺斯”)完成由中芯聚源独家投资的近亿元融资。据悉,本轮融资资金将主要用于研发投入和人才引进。此前,克洛诺斯还曾获得深圳华强创投和中小担创投投资的A轮融资。

克洛诺斯成立于2015年,克洛诺斯主要提供超精密直线电机运动平台。高精密运动控制平台是实现精密定位和位移技术的主要载体,可用于新能源及锂电池生产、半导体设备、自动化工作站等多种场景,帮助实现工装夹取、移载、定位等功能。

根据中国传动网、中国运动控制产业联盟、中国直驱产业联盟发布的数据,2021年直驱技术市场的总体规模超过40亿元人民币,比去年同期增长约40%。目前,美国Aerotech、美国Newport、德国PI、新加坡Akribis、台湾HIWIN等企业占据了中国直线电机60%以上的市场份额。

克洛诺斯总经理杨光告诉36氪,目前公司主要有三大块业务。一是半导体设备,二是精密平台,三是小蓝动力导轨。

半导体设备是克洛诺斯目前着重发展的业务领域。克洛诺斯提供的纳米级精密平台可用于晶圆检测、晶圆切割、纳米检测、光刻等多个业务场景。目前,公司精密平台产品精度范围覆盖±1um至±5nm。

2021年年底,克洛诺斯还发布了重复定位精度达±50nm的超精密气浮平台,对标国际先进高端技术水平,能为晶圆切割、晶圆检测、晶圆封装等领域提供一个能实现精密定位、检测和精确运动的载物平台,成为先进的电子制造设备,如光刻机和晶圆检测工件台,主要解决集成电路晶圆高精度零件在加工、检测等方面的难题。

克洛诺斯半导体设备产品

在精密平台领域,克洛诺斯发展多年,其产品可用于面板行业、3C 精密激光加工、LDI直刻行业、精密检测、PCB、光伏、锂电等多个行业。目前,在精密平台领域,克洛诺斯提供非标可定制化产品服务,已积累了7000多种研发案例,服务了京东方等众多终端客户。

如在新能源市场,高精密运动控制平台可用于电芯卷绕,动力锂电池高速焊接机平台等场景;在面板行业,该产品可用于面板行业中的弯曲度检测、触摸屏ITO银浆蚀刻等产品;而在半导体行业,光刻机、封装环节的多种设备对精度都要求极高,高精度的精密运动平台是直接决定了设备精度及运行效率的核心组件。

此外,克洛诺斯体还提供动力导轨产品。2021年发布了全新自主研发的专利产品“小蓝动力导轨,将电机与导轨有机结合,具备结构简单、配件少、高刚性、高稳定性等特征。它可以做到将重复定位精度从±10um提高到±3um,速度从1m/s提高到4m/s。该产品可用于3C自动化、太阳能光伏、新能源锂电、汽车配件等多个产业。

杨光表示,在小蓝动力导轨出来之前,精密直线传动市场只有两种选择,不是丝杆传动就是传统直线电机。这两种选择对于很多客户来说都不是最理想的选择。丝杆的精度低,易磨损,传统直线电机价格贵,成本高。

2021年,克洛诺斯营收实现过亿,预计2022年将实现2亿多的营收。

在创始团队上,克洛诺斯总经理杨光从事直线电机⾏业15年,是深圳市高层次后备级人才;技术总监鲁男从事直线电机应⽤15年,开发的半导体精密平台对标美国AEROTECH, 现带团队有7000余种⾮标平台开发经验,对半导体晶圆平台有较强的研发能⼒ 。

目前,克洛诺斯共有约350名员工。总部位于深圳,在合肥、山东济南分别设立子公司,有1.5万平左右的生产基地。

中芯聚源董事总经理郎立研表示:选择投资克洛诺斯的重要背景就是公司占据着自动化、高端装备赛道,产品具有特色,已经实现系统级‘know-how’创新;同时团队市场化程度高、执行力强,并在产业链上深入磨合,业务稳步增长,本次投资后,中芯聚源将发挥在半导体产业积累的资源,帮助克洛诺斯从后端封测向前道晶圆制造,逐步深入布局半导体装备市场。